固定された渦巻き型の壁(固定スクロール)に対面した渦巻き型の壁(従動スクロール)が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポンプです。
・大排気量でコンパクトサイズ。
・ドライ型真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力。
・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
・エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止。

項目	単位	50Hz	60Hz
実行排気速度	L/min	90	108
到達圧力	Pa	5
モータ出力	W	150
質量	kg	14
吸・排気口	mm	KF-25/KF-16
使用雰囲気温度範囲	℃	5～40
最大寸法	mm	214(W) × 308(L) × 225(H)
RoHS対応		●