Megatorr(メガトール) CMCAシリーズ
概要
キャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）はガス種の影響を受けることなく
正確な真空圧の測定が可能です。
Brooks 社の独自のセンサー技術（特許取得済み：US Patent No、4823603）に
デジタル温度制御、デジタルキャリブレーションを組み合わせることで更なる高精度、
長期安定性を実現しました。
仕様
| フルスケールレンジ | 1.333kPa, 2.666kPa, 13.33kPa, 133.3kPa |
| 精度 | 読み値の 0.25%又は 0.5% |
| 有効測定レンジ | 0.01% F.S～100% F.S. |
| 温度係数(ゼロ点) | 0.005% F.S. °C |
| 温度係数(スパン) | 0.027% F.S. °C |
| 周囲温度 | 0～50℃ |
| 接ガス部材質 | Inconel®、SUS316L |
| 耐圧 | 45psia |
| 重量 | 137g (5pin 端子台/ 9pin D-sub) |
| 305g (15pin D-sub) | |
| 入力電源 | +12～30VDC |
| 出力電圧 | 0～10VDC |
| 消費電力 | <200mW |
| コネクタ | 15pin D-Sub （175mm ケーブル付き） |
| 9pin D-Sub | |
| 5pin 端子台 |
製品型番
CMCA / フルスケール / コネクタ / 継手 / 精度 / RoHS
| コード | 仕様 | |
| フルスケール | P11 | 1.333kPa (10Torr) |
| P12 | 2.666kPa (20Torr) | |
| P21 | 13.33kPa (100Torr) | |
| P31 | 133.3kPa (1000Torr) | |
| コネクタ | 1 | 9pin D-Sub |
| 2 | 5pin 端子台 | |
| 3 | 15pin D-Sub （175mm ケーブル付き） | |
| 継手 | 0 | 1/2 インチストレート |
| 2 | KF-16 フランジ | |
| 4 | 8VCR | |
| 精度 | A | 読み値の 0.25% |
| B | 読み値の 0.5% | |
| RoHS | R | RoHS 対応 |
外形寸法
9pin D-Sub と 5pin 端子台タイプはコネクタが本体付けとなります。
ピンアサイン
