Megatorr(メガトール) XacTorrシリーズ
概要
デジタル処理により高精度を実現。環境温度に対してリアルタイムで補正をすることで繰り返し精度を向上。
またデジタル温度制御によるリアルタイムのセンサー温度制御は、安定性と繰り返し精度を向上。ウォームアップ時間の短縮。システム状態に迅速に反応します。
仕様
| CMX45 | CMX100 | CMX160 | |
| 制御温度 | 45℃ | 100℃ | 160℃ |
| フルスケールレンジ | 13.3Pa / 133.3Pa / 266.6Pa / 1.3kPa / 2.6kPa / 13.3kPa / 133.3kPa | 13.3Pa / 133.3Pa / 266.6Pa / 1.3kPa / 2.6kPa / 13.3kPa / 133.3kPa | 133.3Pa / 266.6Pa / 1.3kPa / 13.3kPa / 133.3kPa |
| 精度 | 読み値の 0.15%又は 0.25% | 読み値の 0.25%又は 0.5% | |
| 有効測定レンジ | 0.01% F.S～100% F.S. | ||
| 温度係数(ゼロ点) | 0.002% F.S. °C | ||
| 温度係数(スパン) | 0.02% F.S. °C | ||
| 周囲温度 | 15～35℃ | 15～45℃ | 15～35℃ |
| 接ガス部材質 | Inconel®、SUS316L | ||
| 耐圧 | 117kPa | ||
| 重量 | 730g | ||
| 入力電源 | ±15 VDC±5％ | ||
| 24 VDC | |||
| 消費電流 (ウォームアップ時) | 270 mA (typ.) | 620 mA (typ.) | 620 mA (typ.) |
| 400 mA (typ.) | 900 mA (typ.) | 1.2A (Max) | |
| 消費電流 (通常時) | 175 mA (typ.) | 350 mA (typ.) | 550 mA (typ.) |
| 300 mA (typ.) | 600 mA (typ.) | 800mA (typ) | |
| コネクタ | 15pin D-Sub | ||
| 9pin D-Sub | |||
| DeviceNet | |||
製品型番
CMX / 温度 / フルスケール / コネクタ / 継手 / 姿勢
| コード | 仕様 | |
| 温度 | 1 | 45℃ |
| 2 | 100℃ | |
| 3 | 160℃ | |
| フルスケール | PX1 | 13.3Pa（100mTorr） |
| P01 | 133.3Pa（1Torr） | |
| P02 | 266.6Pa（2Torr） | |
| P11 | 1.333kPa (10Torr) | |
| P12 | 2.666kPa (20Torr) | |
| P21 | 13.33kPa (100Torr) | |
| P31 | 133.3kPa (1000Torr) | |
| コネクタ | 1 | D-Sub 9Pin (アナログ) |
| 2 | D-Sub 15Pin (アナログ＋セットポイントリレー出力 2 接点) |
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| 3 | Device Net (デジタル)＋D-Sub 9Pin (アナログ) | |
| 4 | D-Sub 15Pin (アナログ＋セットポイントリレー出力 2 接点＋インコントロール） |
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| 5 | D-Sub 15Pin (アナログ＋セットポイントリレー接点出力＋インコントロールリレー接点出力＋オーバーヒートリレー接点出力) |
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| 継手 | ブランク | 12.7mm チューブ出し |
| 1 | KF-10 フランジ | |
| 2 | KF-16 フランジ | |
| 3 | KF-25 フランジ | |
| 4 | 8VCR メス | |
| 5 | ミニコンフラットフランジ | |
| 姿勢 | ブランク | 水平方向で校正 |
| V | 垂直方向で校正 |
