DIAVAC 高真空排気装置 DS-Zシリーズ
コンパクトにユニット化され真空容器に
容易に接続できる高性能高真空排気装置
油回転ポンプと油拡散ポンプのシステム
空冷型、水冷型の2種類からお選び頂けます
簡易型ピラニ真空計、液体窒素トラップを標準装備
■下記のような安全回路を装備しています
○油回転ポンプ停止後自動復帰防止
○油回転ポンプモータ過負荷保護
○油拡散ポンプの異常昇温防止
○油拡散ポンプヒータ過電流防止
○油拡散ポンプ冷却水圧低下警告及び
油拡散ポンプOFF機能付
| 水冷シリーズ | 空冷シリーズ | ||||||
| 形式 | DS-212Z | DS-312Z | DS-412Z | DS-612Z | DS-A212Z | DS-A312Z | DS-A412Z |
| 到達圧力(Pa) | ×10⁻⁴ 台 (液体窒素未使用時) | ||||||
| 排気速度(L/s) | 25 | 75 | 120 | 240 | 25 | 75 | 120 |
| 電力(kVA)[50/60Hz] 1ф100V | 1.8 | 1.9 | 2.2 | 2.4 | 1.8 | 1.9 | 2.2 |
| 粗引きポンプ容量(L/min) | 150 | 340 | 150 | ||||
| 冷却時所要水量(L/min) | 0.5 | 1 | 1.5 | 3 | - | ||
| 質量(kg) | 68 | 82 | 85 | 192 | 68 | 82 | 85 |
| 液体窒素トラップ容量(L) | 0.26 | 0.52 | 0.94 | 1.9 | 0.26 | 0.52 | 0.94 |
| 主弁フランジ呼び径(A) | 50 | 80 | 100 | 150 | 50 | 80 | 100 |
