INFICON キャパシタンスダイアフラムゲージ
CDG025D,CDG045D,CDG100D,CDG160D,CDG200D
プロセス制御用
インフィコンキャパシタンスダイアフラムゲージは、 過酷な製造装置環境において長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。 耐腐食性超高純度セラミックセンサーは優れたゼロ点と計測スパンの長期安定性、温度安定性を提供します。独自のセンサーシールドはプロセス副生成物から真空計を保護します。
特徴
- フルスケールヘッドの選択範囲 100mTorr … 1000Torr
- 短いウォームアップ時間で速い信号安定
- 耐腐食性の高いアルミナセラミック製
- 優れた長期安定性
- コンタミネーションに対するプロテクション構造
- ワンプッシュのゼロ点調整
- ２セットポイントリレーのオプション
- RS232C通信
