Leybold 真空計
真空計ラインナップ
MEMSピラニの採用によりフィラメントより振動やショックベントに対する耐久性に優れ、タッチパネル式の表示器内蔵のモデルなど目新しさのあるモデルもラインナップしています。
| 技術データ | CERAVAC キャパシタンスダイアフラム真空計 (温度補正/加熱型) | THERMOVAC 熱伝導真空計(ピラニ) |
|||
| 画像 |  |  |
|||
| 圧力トランスミッター | CTR 100 N (温度補正型) | CTR 101 N (45℃加熱型) | TTR 91 N TTR 96 N | TTR 911 N TTR 911 N Display TTR 916 N | TTR 101 N |
| 測定原理 | 隔膜静電容量方式 Inconel® ダイヤフラム センサー | TTR 91 N: MEMSピラニ TTR 96 N: コーティング MEMSピラニ | TTR 911 N: MEMSピラニ TTR 911 N / TTR 916 N: コーティングMEMS ピラニ | MEMSピラニとピエゾ | |
| 測定範囲／ 表示範囲 mbar (1Torr = 1.333mbar) | 1000 / 1 x 10⁻¹ Torr 100 / 1 x 10⁻² Torr 20 / 2 x 10⁻³ Torr 10 / 1 x 10⁻³ Torr 1 / 1 x 10⁻⁴ Torr 0.1 / 1 x 10⁻⁵ Torr | 1000 / 1 x 10⁻¹ Torr 100 / 1 x 10⁻² Torr − 10 / 1 x 10⁻³ Torr 1 / 1 x 10⁻⁴ Torr 0.1 / 1 x 10⁻⁵ Torr | 5 x 10⁻⁵ - 1000 | 5 x 10⁻⁵ - 1000 | 5 x 10⁻⁵ - 2000 (RS 232 /ディスプレイ / EtherCAT) |
| 測定の不確かさ | 読み取り値 0.2% ± 温度影響 読み取り値 0.5% ± 温度影響 (0.1 Torr) | 読み取り値 0.12% ± 温度影響 読み取り値 0.15% ± 温度影響 (0.1 Torr) | 5 x 10⁻⁴ から 1 x 10⁻³ 読み取り値 ± 10 % 1 x 10⁻³ から 100 読み取り値 ±5 % 100 から大気圧 読み取り値±25 % | 5 x 10⁻⁴ から 1 x 10⁻³ 読み取り値の ±10 % 1 x 10⁻³ から 100 読み取り値 ±5 % 100 から大気圧 読み取り値 ±25 % | 5 x 10⁻⁴ から 1 x 10⁻³ 読み取り値の ±10 % 1 x 10⁻³ から 11 読み取り値 ±5 % 11 から 1333 読み取り値 ±0.75 % |
| 状態表示 | LED | LEDリング(360°) | |||
| 最高ベーキング温度 | ベーキング不可 | 85（非通電時） | |||
| 最大圧力(bar) | 3.1 | 6 | 2 | ||
| 保護クラス IP | 40 | 40 | |||
| セットポイント数 | 0 | 2 | 0 (TTR 91 N) 2 (TTR 91 N) 2 (TTR 96 N) | 2 [プロフィバス / EtherCAT / ディスプレイ] 3 [RS 232] | 2 3 [RS 232] |
| 最長ケーブル長 (m) 電機接続 | 30 (タイプ C) D-sub15ピン | 100 (タイプ A) FCC 68 / RJ45 | 100 (タイプ A) 1 x FCC 68 or 2 x FCC 68 + 1 x D-sub 15 ピン |
||
| インターフェース | RS232 | - | TTR 911 N ディスプレイ: – TTR 911 N : RS 232 TTR 911 N : EtherCAT/ プロフィバス TTR 916 N ディスプレイ: – | RS 232 / ディスプレイ / EtherCAT / プロフィバス |
|
| コントローラタイプ | GRAPHIX シリーズ | DISPLAY と GRAPHIX シリーズ | DISPLAY と GRAPHIX シリーズ | DISPLAY と GRAPHIX シリーズ |
|
| 技術データ | PENNINGVAC 冷陰極電離真空計 | ロードロック コンビネーション 多機能真空計 | IONIVAC 熱陰極真空計 |
|||
| 画像 |  |  |  |
|||
| 圧力トランスミッター | PTR 90 N PTR 90 N Display | PTR 225 N PTR 237 N | TTR 200 N | PTR 200 N | ITR 90 | ITR 200 S |
| 測定原理 | 逆マグネトロン型 冷陰極電離と MEMSピラニ | 逆マグネトロン型 冷陰極電離 | MEMSピラニと 相対圧力ピエゾ | 冷陰極電離 MEMSピラニと 相対圧力ピエゾ | 熱陰極とピエゾ | |
| 測定範囲／ 表示範囲 mbar | 1 x 10⁻⁸ - 1000 | 1 x 10⁻⁸ - 5 x 10⁻³ | 絶対圧力: 5 x 10⁻⁵ - 1500 相対圧力 [RS 232]: -1013 から 1013 | 絶対圧力: 1 x 10⁻⁸ - 1500 相対圧力 [RS 232]: -1013 から 1013 | 5 x 10⁻¹⁰ - 1000 | |
| 測定の不確かさ | 1 x 10⁻⁴ から 1 x 10⁻³ 読み取り値 ±10% 1 x 10⁻³ から 100 読み取り値 ±5% 100 から 1000 読み取り値 ±25% 1 x 10⁻⁸ から 1 x 10⁻³ 読み取り値 ±30% | ± 30% (1 x 10⁻⁸ から 1 · 10⁻³ mbar) | MEMSピラニ: 1 x 10⁻⁴ から 1 x 10⁻³ 読み取り値 ±10 % 相対圧力ピエゾ: -10 から 10 読み取り値 ±10 % ±0.67 mbar | 冷陰極電離: 1 x 10⁻⁸ から 1 x 10⁻³ 読み取り値 ±30 % MEMSピラニ: 1 x 10⁻⁴ から 1 x 10⁻³ 読み取り値 ±10 % 相対圧力ピエゾ: -10 から 10 読み取り値 ±10 % ±0.67 mbar | 15% (1 x 10⁻⁸ - 1 x 10⁻² mbar) > 15% (0-1 - 1000 mbar) |
|
| 状態表示 | LEDリング (360°) | LEDリング (360°) | LEDリング (360°) | - | ||
| 最高ベーキング温度 | 85（非通電時） | 85（非通電時） | 85（非通電時） | 150 (ベーキング用 エクステンション 使用） | 80 | |
| 最大圧力(bar) | 2 | 2 | 2 | |||
| 保護クラス IP | 40 | 40 | 30 | |||
| セットポイント数 | 0 3 (RS 232) | 0 3 (RS 232) 2 (EtherCAT) | 3 | - | 1～2 | |
| 最長ケーブル長 (m) 電機接続 | 100 (タイプ A) FCC 68 / RJ 45 | 100 (タイプ A) FCC 68 / RJ 45 EtherCat: RS 232 | 20 (タイプ A) D-sub 15 ピン | 100 (タイプ C) D-sub 15ピン オス |
||
| インターフェース | RS 232 EtherCAT | RS 232 EtherCAT | RS232 | RS 232 C プロフィバス |
||
| コントローラタイプ | DISPLAY と GRAPHIX シリーズ | DISPLAY TWO DISPLAY THREE GRAPHIXシリーズ | GRAPHIX シリーズ | |||
