リークディテクター
  1. イージーオペレーション
    ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能
  2. 業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
    10-12Pa・m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現
  3. イージキャリー
    可搬に便利な大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応可能
  4. 耐久性を重視した堅牢設計
    長寿命タングステンフィラメントを採用することにより、長期間、高感度測定が行えます。また、24時間稼働のシステムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計
型 名M-212LD(-H)※1M-212LD-DM-222LD(-H)※1M-222LD-D(-H)※1M-232LD
バージョンコンパクトコンパクトドライハイパワーハイパワー&ドライスニファ
定量測定範囲
(Pa・m3/s)
10-12~10-3
(-H:10-13~10-3
10-12~10-310-12~10-3
(-H:10-13~10-3
10-12~10-3
(-H:10-13~10-3
10-8~10-1
(10-2~105ppm)
インレットポート
排気速度(He)
(L/s)
0.5(Gross Mode)
2.0(Middle Mode)
5.0(-H:Fine Mode)
0.2(Gross Mode)
0.3(Middle1 Mode)
1.3(Middle2 Mode)
3.0(Fine Mode)
1.8(Gross Mode)
2.0(Middle Mode)
5.0(-H:Fine Mode)
2.0(Gross Mode)
2.0(Middle Mode)
5.0(-H:Fine Mode) 
プローブ吸引速度
0.3Pa・m3/s
インレット
ポート形状
NW25(ISO)NW25(ISO)NW25(ISO)NW25(ISO)
メインポンプターボ分子ポンプ 50L/sターボ分子ポンプ 50L/sターボ分子ポンプ 50L/sターボ分子ポンプ 50L/sターボ分子ポンプ 50L/s
あら引きポンプ油回転ポンプ 30L/minダイヤフラムポンプ20L/min油回転ポンプ142L/min※2スクロールドライポンプ
250L/min>
油回転ポンプ30L/min
+ダイヤラムポンプ
外部
インターフェイス
RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
表 示カラー液晶カラー液晶カラー液晶カラー液晶カラー液晶
スニファプローブ(オプション)981-9370型※3981-9371型981-9371型標準
所要電力※4AC 100V 8AAC 100A-115V, 6.3AAC 100V-150V 15AAC 100V-150V  10AAC 100V 8A
外形寸法
(W×H×D)(mm)
435×487×363435×487×363462×867×715462×867×715
435×487×363
質 量(kg)4239757542

※1):(-H)は高感度仕様の機器です。
※2):オプションにて最大275L/Minの油回転ポンプに変更可能です。
※3):本機種でのご使用の場合は、別途ご相談ください。
※4):ご注文時のご指定により、115V 200V 230Vの電圧対応をいたします。