エドワーズ社製ポンプ
小型ロータリーポンプ
EM・RVシリーズ
- ユニークな給油システムを採用
加圧給油方式を採用しており、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。特にRVシリーズは高真空はもちろんハイスループット（高い圧力）でもスムーズな連続運転を実現する為、オイル流量の調整バルブを内蔵しています。 - オイルの逆流防止機構
停電などの突然の停止時にもオイルの逆流を完全に防止し、システム側を真空状態に保ちます。 - 低振動・低ノイズ
精密加工と特殊給油方式により、振動・ノイズがきわめて低く、RVシリーズで48dB（A）程度。
| 型名 | E2M0.7 | E2M1.5 | RV3 | RV5 |
| 設計排気速度（L/min）50Hz | 15 | 30 | 62 | 97 |
| 設計排気速度（L/min） 60Hz | 18.3 | 36.7 | 75 | 116.7 |
| 実効排気速度（L/min）50Hz | 12.5 | 26.7 | 55 | 85 |
| 実効排気速度（L/min）60Hz | 15.8 | 33.3 | 65 | 103.3 |
| 到達圧力（Pa）ガスバラ閉 | 0.3 | 0.15 | 0.2 | 0.2 |
| 到達圧力（Pa）ガスバラ開 | 2 | 2.5 | 3 | 3 |
| 最大水蒸気流入圧力（Pa） | 1500 | 1500 | 8000 | 5000 |
| 最大処理水量（g/hr） | 8 | 16 | 220 | 220 |
| 吸気接続 | NW10 | NW10 | NW25 | NW25 |
| 排気接続 | 11φ | 11φ | NW25 | NW25 |
| 標準オイル | ウルトラグレード15 | ウルトラグレード15 | ウルトラグレード19 | ウルトラグレード19 |
| オイル量（L） | 0.28 | 0.28 | 0.7 | 0.7 |
| フッソ系オイル仕様の有無 | 無 | 無 | 有 | 有 |
| 出力（kW）50Hz | 0.09 | 0.16 | 0.45 | 0.45 |
| 出力（kW）60Hz | 0.09 | 0.16 | 0.55 | 0.55 |
| 電圧(V) 単相 | 100 – 120 200 – 240 | 100 – 120 200 – 240 | 100/200 | 100/200 |
| 電圧(V) 三相 | – | – | 200 – 230 380 – 460 | 200 – 230 380 – 460 |
| 質量(kg) | 10 | 10 | 25 | 25 |
中大型ロータリーポンプ
EMシリーズ
- 高度なオイル循環回路
- 高い信頼性
- アプリケーションニーズにマッチする豊富なアクセサリー。
ユニークな給油システムを採用
| 型名 | E2M40 | E2M80 |
| 設計排気速度（L/min）50Hz | 708 | 1333 |
| 設計排気速度（L/min） 60Hz | 842 | 1600 |
| 実効排気速度（L/min）50Hz | 617 | 1233 |
| 実効排気速度（L/min）60Hz | 733 | 1500 |
| ポンプ段(ステージ)数 | 2 | 2 |
| 到達圧力（Pa）ガスバラスト閉 | 0.1 | 0.1 |
| 到達圧力（Pa）ガスバラスト開 | 0.7 | 0.7 |
| 最大水蒸気流入圧力（Pa） | 700 | 500 |
| 最大処理水量（Kg/h） | 0.2 | 0.3 |
| 吸気接続 | ISO40 | ISO40 |
| 排気接続 | NW25 | NW25 |
| 標準オイル | ウルトラグレード70 | ウルトラグレード70 |
| オイル量（L） | 4.0 | 6.4 |
| 出力（kW）50Hz | 1.5 | 3.0 |
| 出力（kW）60Hz | 1.5 | 3.0 |
| F仕様推奨オイル | フォンブリンYVAC 06/6 | フォンブリンYVAC 06/6 |
| F仕様オイル量(L) | 3.5 | 4.0 |
| 質量(kg) | 72 | 105 |
スクロールポンプ nXDSシリーズ
- クリーン排気
排気機構に潤滑油を使用せず、清浄な真空が得られます。 - メンテナンス
シンプルな構造ですので短時間で分解、組立が出来ます。また、オイルを使用していないのでクリーンなメンテナンス環境が得られます。 - XDS ポンプは特許ベアリングシールドを採用
真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。
| 型名 | nXDS6i | nXDS10i |
| 排気速度（L/min）50/60Hz | 103 | 190 |
| 到達圧力（Pa） | 2.0 | 0.7 |
| 最大許容水蒸気圧（Pa） | 3500 | 3500 |
| 最大水蒸気処理量（g/h） | 110 | 145 |
| 吸気接続 | NW25 | NW25 |
| 排気接続 | NW25 | NW25 |
| 供給電圧(V) 50/60Hz | 単相100 – 127 / 200 – 240 | 単相100 – 127 / 200 – 240 |
| モータ出力（W） | 260 | 280 |
| ガスバラスト | 有り(0、Ⅰ、Ⅱ切替) | 有り(0、Ⅰ、Ⅱ切替) |
| 使用温度範囲(℃) | 5～40 | 5～40 |
| 質量(kg) | 26.2 | 25.8 |
ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ
- 卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のロータデザイン
- マグネットベアリングとセラミックベアリングのハイブリッド構造
- 優れたメンテナンス性
ベアリングと潤滑油の交換がユーザーで簡単に可能 - DC24V駆動コントローラを内蔵
80Wまたは160W出 - DとTの2種類のバージョンを準備
D：タービンブレード＋ドラッグステージ
T：Dタイプ機構＋リジェネレーションステージ - インターステージポート（iタイプ）を準備
| 型名 | nEXT240 | nEXT300 |
| インレットフランジ | DN100 ISO-K DN100CF | DN100 ISO-K DN100CF |
| 排気速度(N2) L/sec | 240 | 300 |
| 排気速度(He) L/sec | 230 | 340 |
| 排気速度(H2) L/sec | 165 | 280 |
| 圧縮比(D) (N2) | ＞1×1011 | ＞1×1011 |
| 圧縮比(D) (He) | 3×105 | 1×106 |
| 圧縮比(D) (H2) | 1×104 | 5×104 |
| 圧縮比(T) (N2) | ＞1×1011 | ＞1×1011 |
| 圧縮比(T) (He) | 1×106 | 3×106 |
| 圧縮比(T) (H2) | 1.5×104 | 1×105 |
| インターステージ排気速度(N2) L/sec （iタイプのみ） | 13 | 13 |
| インターステージ排気速度(He) L/sec （iタイプのみ） | 13 | 13 |
| インターステージ排気速度(H2) L/sec （iタイプのみ） | 11 | 11 |
| 到達圧力 Pa ISO(CF)フランジ | 6×10-6（5×10-8） | 6×10-6（5×10-8） |
| 背圧／インターステージ※1／ブーストポート※2 | NW25 | NW25 |
| ベント／パージポート | 1/8 BSP | 1/8 BSP |
| 臨界背圧（D) Pa | 950 | 950 |
| 臨界背圧（T) Pa | 2000 | 2000 |
| 連続最大吸気流量 （窒素sccm） 水冷時（外気温40℃） | 45 | 95 |
| 連続最大吸気流量h（窒素sccm） 強制空冷時（外気温35℃） | 30 | 115 |
| 連続最大吸気流量 （窒素sccm） 自然空冷時（外気温35℃） | 10 | 35 |
| 連続最大背圧Pa 水冷時（外気温40℃） | 600 | 675 |
| 連続最大背圧 Pa 強制空冷時（外気温35℃） | 475 | 700 |
| 連続最大背圧 Pa 自然空冷時（外気温30℃） | 100 | 275 |
| 推奨背圧ポンプ※3 | RV12 / XDS10 | RV12 / XDS10 |
| 最大ブースト速度 （Tタイプ） RV12使用時m3/h (L/min) | 26（433） | 26（433） |
| 最大ブースト速度 （Tタイプ） XDS10使用時m3/h (L/min) | 24（400） | 24（400） |
| ノーマル回転速度 rpm | 60000 | 60000 |
| 90％速度までの起動時間 D(T) sec | 115（150） | 115（150） |
| ノイズレベル（機側 1m）dB(A) | < 45（±3） | < 45（±3） |
| 質量 D(T)kg / ISO | 5.7（6） | 5.7（6） |
| 質量 D(T)kg / CF | 8.8（9.1） | 8.5（8.8） |
ターボ分子ポンプ EXT75DX
EXT75DX ターボ分子ポンプは、磁気ベアリングとセラミックボールベアリングの2種類の基本技術を取り入れています。
セラミックボールベアリングはグリース、またはオイルで潤滑されるベアリングですが、シリコン窒化物製ボールはスチール製ボールと比較して軽量、硬質、円滑等の優位性を備え、長寿命と低振動性が実現しました。
更にボールとレースの素材が異なることにより、マイクロピットの発生を防ぐことができ、信頼性が向上しました。
| インレットフランジ | NW40 | ISO63 | ISO100 | 63CF |
| 排気速度(N2) L/sec | 42 | 61 | 66 | 61 |
| 排気速度(He) L/sec | 49 | 57 | 59 | 57 |
| 排気速度(H2) L/sec | 48 | 53 | 54 | 53 |
| 到達圧力（Pa） | <5×10-7 | <5×10-7 | <5×10-7 | <5×10-8 |
| 質量(kg) | 2.9 | 3 | 3.2 | 4.9 |
| 圧縮比(N2) | >1×1011 |
| 圧縮比(He) | 1×108 |
| 圧縮比(H2) | 5×104 |
| 排気フランジ | NW16 |
| ベアリング形式 上部 | 磁気浮上式 |
| ベアリング形式 下部 | セラミックボール |
| 最小背圧ポンプ速度（L/min） | 13（E2M0.7） |
| ベントポート | 1/8インチBSPメス |
| パージポート | 1/8インチBSPメス |
| 最大連続吸気圧（Pa）冷却水使用（15℃） | 2 |
| 最大連続吸気圧（Pa）エアクーラ使用（35℃） | 1 |
| 臨界背圧（Pa） | 1200 |
| 公称回転速度（rpm） | 90,000 |
| スタンバイモード（rpm） | 49,500～90,000（可変） |
| 起動時間（90％まで）（秒） | 110 |
| 冷却方法 | 強制空冷、水冷 |
| 運転時の外気温度範囲（℃） | 5～35 |
| 冷却水温度範囲（℃） | 10～20 |
| 最小冷却水量（15℃）（L/h） | 15 |
| 取付方向 | 垂直上向きから水平方向 |
| 最大磁場漏洩量（mT） | 5 |
| 推奨コントローラ型式 | TIC100Wまたは200W |
| 無負荷時消費電力（W） | 10 |
ターボ排気ユニット T-Station75
- T-Station75は、新たに開発したターボ排気ユニットです。多くの実績を持つEXT75DXターボ分子ポンプとE2M1.5ロータリポンプまたはXDD1 ダイアフラムポンプを組み合わせることで、完全なドライシステムの要求に対応します。
- T-Station には新しいTAG（Turbo and Active Gauge）コントローラが標準で装着されており、ボタン１つでシステムの始動と停止を行うことができます。T-Station はアクティブゲージ※とベントバルブ※の制御が可能です。また、ゲージ装着時には時間または圧力に応じてターボポンプの遅延始動を制御できるため、研究室での一般的なニーズに適合しています。
- EXT75DXを搭載した高真空排気ユニット
- 背圧ポンプはロータリポンプ（E2M1.5）またはダイヤフラムポンプ（XDD1）を2種類選択
- オプションで真空ゲージおよびベントバルブの選択が可能
- メインフランジはNW40、ISO63、63CFの3種類を準備
| 排気速度 N2 NW40フランジ | 42L/sec |
| 排気速度 N2 ISO/63CFフランジ | 61L/sec |
| E2M1.5システム（T-Station 75W） | 26.6L/min |
| XDD1システム （T-Station 75D） | 20L/min |
| 到達圧力 | < 5×10-6Pa |
| 質量（E2M1.5システム） | 21kg |
| 質量（XDD1システム） | 17kg |
| リークレート | < 1×10-7Pam3/s |
| 周囲温度範囲（使用時） | 10～40℃ |
