エコノミーマスフローコントローラ SEC-E Series
信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したオールマイティモデルの高精度アナログマスフローコントローラです。10 SCCMから200SLMまでのワイドな流量制御範囲く幅広い産業でお使いいただけます。
特長
- 広範囲な流量制御：0.2SCCM～200SLM(N2)
- 幅広い用途に対応
一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。 - ローコストモデルもラインナップ（SEC-E40MK3/E50MK3）
| 型式 | SEC-(マスフローコントローラ） | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 | E431X | E441X |
| SEF-(マスフローメータ） | E40 | E50 | E431X | E441X | |
| 対応ガス種 ※1 | 非腐食性ガス（MK3モデルはN2、O2、Air、H2、Ar、Heに対応） | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス | ||||
| バルブ型式 | 非通電時 閉 | ||||
| 標準流量レンジ（N2相当F.S.） | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | 50/100 SLM | 200 SLM | |
| 流量制御範囲(SECシリーズに対応) | 2～100% F.S. | 5～100% F.S. | |||
| 流量計測範囲(SEFシリーズに対応） | 0～100% F.S. | ||||
| 応答速度 ※2 | 1秒以内（T98） | ||||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ||||
| 繰返性 | ±0.2% F.S. | ±0.5% F.S. | |||
| 動作差圧(SECシリーズに対応) | 10 SCCM～5 SLM：50～300kPa（d） 10～30 SLM:100～300kPa（d） | 100～300kPa（d） | 200～350kPa（d） | ||
| 使用圧力(SEFシリーズに対応) | 300kPa（G）以下 | 350kPa（G）以下 | |||
| 耐圧 | 1MPa（G）以下 | ||||
| 外部リークレート ※3 | 1×10-10Pa・m3/s（He）以下 | 1×10-9Pa・m3/s（He）以下 | |||
| 使用可能周囲温度 | 5～50℃（精度保証:15～35℃） | 5～45℃（精度保証:15～35℃） | |||
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC（入力インピーダンス1MΩ以上）/2～100％ F.S | 0.25～5VDC（入力インピーダンス1MΩ以上）/5～100％ F.S | |||
| 流量出力信号 | 0～5VDC（最小負荷抵抗2kΩ）/0～100％ F.S. | ||||
| 駆動電源 | ＋15VDC±5% 50mA －15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA －15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
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| 標準継手 ※4 | 1/4スウェージロックタイプ | 3/8スウェージロックタイプ | |||
※1： 記載以外のガス種については、別途お問い合せください。 ※2：Typical値です。 ※3: 機械的リーク（SEMI 規格に準拠） ※4: 標準継手以外の対応も可能です。別途お問い合せください。
●SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3はオートゼロ機能を搭載しています。 ●入口圧力は、SEC-E40/50/E40MK3/E50MK3/E431X：MAX300kPa（G）、SEC-E441X：350kPa（G）以下となります。
●SCCM、SLMは、ガス流量（mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa）を表す記号です。
