一般産業向けエコノミーマスフローコントローラ S48 Series
生産設備から各種実験・評価システムの正確なガス流量制御に活躍するエコノミーマスフローコントローラ。24V電源駆動モデルをラインナップし、幅広い産業分野でご使用いただけるモデルです。
特長
- アナログ通信エコノミーモデル
- 電源 DC＋24Ｖ, DC±15V
- 信号出力：4-20mA, 0-5Ｖ, 1-5Ｖ, 0-10V
- 流量精度：±1% F.S.
- 応答速度：2秒以内（ T98）
仕様
| 型式 | S48-32 | S48-28 | ||
|---|---|---|---|---|
| 接ガス部材質 | SUS316L バイトン(EPDMオプション)、PTFE、磁性ステンレス | |||
| バルブ型式 | 非通電時 閉(クローズ)：C | |||
| 標準流量レンジ (N2換算流量フルスケール) | (10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (100,150,200) SLM | ||
| 流量制御範囲 | 2～100％F.S. | 5～100％F.S. | ||
| 応答性 | 2秒以内(T98) ※Typical 1秒以内 | 2秒以内(T98) | ||
| 流量精度 | ±1.0％ F.S. (15℃～35℃) | |||
| 直線性 | ±0.5％ F.S. (15℃～35℃) | |||
| 繰り返し再現性 | ±0.2％ F.S. (15℃～35℃) | |||
| 動作差圧 | 10SCCM～5SLM：50～300kPa(d) 10SLM～30SLM：100～300kPa(d) 50SLM：150～300kPa(d) | 100SLM：100～300kPa(d) 150SLM：150～300kPa(d) 200SLM：200～300kPa(d) |
||
| 最大動作(使用)圧力 | 300kPa(G) | |||
| 耐圧 | 1MPa(G) | |||
| 外部リークレート | 1×10-8Pa・m3/s(He)以下 | |||
| 使用可能周囲温度 | 5～50℃(精度保証：15～35℃) | |||
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | 4.32～20mA 0.1～5VDC、1.08～5VDC 0.2～10VDC | 0.25～5VDC | 4.8～20mA 0.25～5VDC、1.2～5VDC 0.5～10VDC |
| 流量出力信号 | 0～5VDC | 4～20mA 0～5VDC、1～5VDC 0～10VDC | 0～5VDC | 4～20mA 0～5VDC、1～5VDC 0～10VDC |
| 駆動電源 | +15V±5％ 100ｍA -15V±5％ 150ｍA | 24V(11V～25V) 250mA | +15V±5％ 100ｍA -15V±5％ 200ｍA | 24V(11V～25V) 350mA |
| 標準継手 | 1/4 inch SWL相当、6mm SWL相当 | 3/8 inch SWL相当、10mm SWL相当 | ||
| 取付姿勢 | 自由 | |||
| コネクタ | D-Sub 9Pinオス | |||
| 入出力インピーダンス | 入力：1MΩ以上、出力：3mA以下 | 入力：100KΩ以上、出力：3mA以下 | 入力：1MΩ以上、出力：3mA以下 | 入力：100KΩ以上、出力：3mA以下 |
