コンパクトキャパシタンス ダイアフラムゲージ温度コントロール型(45℃)
コンパクトキャパシタンス ダイアフラムゲージ
CMR 371/372/373/374/375
温度コントロール型(45℃)
- 測定レンジは1.1×10⁵ Paから0.1 Pa (CMR 371/372/373)
- 測定レンジは110 Paから1×10⁻³ Pa (CMR 374/375)
- ガスタイプに依存しない測定
- 優れた耐腐食性
- セラミックデザインによる長期安定、長寿命
- 少ないゼロドリフト
| General technical data | |||||
| 出力信号：センサーエラー | <0.4V | ||||
| 出力信号：測定レンジ | 1.0 - 9.8V | ||||
| 出力信号：最小負荷 | 10kΩ | ||||
| メンブレン・測定チャンバー | Al2O3, Vacon70 | ||||
| ケーブル長：最大 | 65m | ||||
| パイプ・フランジ | ステンレススティール | ||||
| 許容温度：保管時 | -40℃～65℃ | ||||
| 許容温度：測定時 | 15℃～40℃ | ||||
| 供給電圧 | 18～30VDC | ||||
| 消費電力：最大 | 7.5W | ||||
| Technical data | |||||
| モデル名 | CMR371 | CMR372 | CMR373 | CMR374 | CMR375 |
| 接続口 | DN16 ISO-KF, DN16 CF-R, Rohr AD 1/2", 8VCR 以上の4タイプからお選び頂けます。 |
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| 測定レンジ(Pa)：上限 | 1.1×10⁵ | 1.1×10⁴ | 1.1×10³ | 110 | 11 |
| 測定レンジ(Pa)：下限 | 10.0 | 1.0 | 0.1 | 1.0×10⁻² | 1.0×10⁻³ |
| 分解能 | 0.0015% F.S. | 0.0015% F.S. | 0.0015% F.S. | 0.0025% F.S. | 0.0025% F.S. |
| ベークアウト時温度： | 90℃ | 90℃ | 90℃ | 90℃ | 90℃ |
| 許容圧力 | 3×10⁵ | 2×10⁵ | 2×10⁵ | 2×10⁵ | 2×10⁵ |
| 精度 | 測定値の0.15％ | ||||
| スパンに対する温度の影響 | 測定値の0.01％ | ||||
| ゼロ点に対する温度の影響 | 0.0025%F.S | ||||
| 安定温度 | 45℃ | ||||
