コンパクトキャパシタンス ダイアフラムゲージ
コンパクトキャパシタンス ダイアフラムゲージ
CMR 361/362/363/364/365
- 測定レンジは1.1×10⁵ Paから1.0×10⁻³ Pa
- ガスタイプに依存しない測定
- 優れた耐腐食性
- セラミックデザインによる長期安定、長寿命
- 少ないゼロドリフト
| General technical data | |||||
| 出力信号：センサーエラー | <0.4V | ||||
| 出力信号：測定レンジ | 1.0 - 9.8V | ||||
| 出力信号：最小負荷 | 10kΩ | ||||
| メンブレン・測定チャンバー | Al2O3, Vacon70 | ||||
| ケーブル長：最大 | ≦120m | ||||
| パイプ・フランジ | ステンレススティール | ||||
| 許容温度：保管時 | -40℃～65℃ | ||||
| 許容温度：測定時 | 5℃～50℃ | ||||
| 供給電圧 | 14～30VDC | ||||
| 消費電力：最大 | 1.0W | ||||
| Technical data | |||||
| モデル名 | CMR361 | CMR362 | CMR363 | CMR364 | CMR365 |
| 接続口 | DN16 ISO-KF, DN16 CF-R, AD 1/2'チューブ', 8VCR 以上の4タイプからお選び頂けます。 |
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| 測定レンジ(Pa)：上限 | 1.1×10⁵ | 1.1×10⁴ | 1.1×10³ | 1.1×10² | 11.0 |
| 測定レンジ(Pa)：下限 | 10.0 | 1.0 | 0.1 | 1.1×10⁻² | 1.1×10⁻³ |
| 分解能 | 0.003% F.S | 0.003% F.S | 0.003% F.S | 0.003% F.S | 0.003% F.S |
| ベークアウト時温度： | ≦110℃ | ≦110℃ | ≦110℃ | ≦110℃ | ≦110℃ |
| 許容圧力 | 3×10⁵ | 2×10⁵ | 2×10⁵ | 2×10⁵ | 1.3×10⁵ |
| 精度 | 測定値の0.2％ | 測定値の0.5% | |||
| スパンに対する温度の影響 | 測定値の0.01％ | 測定値の0.03% | |||
| ゼロ点に対する温度の影響 | 0.005%F.S | 0.015%F.S | 0.02%F.S | ||
