フルレンジゲージ
フルレンジゲージ
PKR 360/361 PBR260
- 二測定原理の真空計が一つに
- ピラニーゲージとコールドカソードタイプ(PKR360/361)
PKR360 低電流型 ⇒ 低真空下での汚れを軽減
PKR361 高電流型 ⇒ 高真空～超高真空下でも高い安定性 - ピラニーゲージとBAゲージタイプ(PBR260)
- 大気圧から超高真空までの測定に
- ピラニセンサーより自動ON/OFF
| Technical data | |||
| モデル名 | PKR360 | PKR361 | PBR260 |
| 精度 | ±30% | ±30% | 15% |
| フィラメント：BA | イットリアコートイリジウム | ||
| フィラメント：CCG | モリブデン | モリブデン | |
| フィラメント：ピラニ | タングステン | タングステン | タングステン |
| ベークアウト時温度 | 150℃ | 150℃ | 150℃ |
| 導入端子 | Glass | Glass | |
| フランジ | ステンレススティール | ステンレススティール | ステンレススティール |
| 測定レンジ：上限 | 1×10⁵ Pa | 1×10⁵ Pa | 1×10⁵ Pa |
| 測定レンジ：下限 | 1×10⁻⁶ Pa | 1×10⁻⁶ Pa | 5×10⁻⁸ Pa |
| 測定方式 | ピラニ/コールドカソード | ピラニ/コールドカソード | |
| 出力信号：測定レンジ | 2.0 - 8.6 V | 2.0 - 8.6 V | 1.8 - 8.5 V |
| 出力信号：最小負荷 | 10kΩ | 10kΩ | 10kΩ |
| 再現性 | 5％ (1×10⁻⁶ - 1 Pa) | ±5％ (1×10⁻⁶ - 1 ×10⁴ Pa) | 5％ (1×10⁻⁶ - 1 Pa) |
| 最大消費電力 | 2W | 2W | 16W |
| 供給電圧 | 14.5 - 30 V | 14.5 - 30 V | 20 - 28 V |
| 許容温度：測定時 | 5 - 55℃ | 5 - 55℃ | 0 - 50℃ |
| 許容温度：保管時 | -40 - 70℃ | -40 - 70℃ | -20 - 70℃ |
| 接続口 | DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F | DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F | DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-R |
