ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動によって真空排気をする真空ポンプです。
・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。
・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)。
・手動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
・大気圧から作動が可能。
・シンプル構造で、メンテナンスが容易。
・アンローダーバルブを内蔵しているため、真空状態からの再起動が可能。

項目	単位	50Hz	60Hz
実行排気速度	L/min	60	72
到達圧力	Pa	3.32×10³
	kPa	-98 (ゲージ圧表示)
モータ出力	W	200
質量	kg	19
吸・排気口	mm	O.D.φ14×I.D.φ9 (G 3/8)
使用雰囲気温度範囲	℃	7～40
最大寸法	mm	156(W) × 358(L) × 238(H)
RoHS対応		●