電離真空計

中真空~超高真空領域の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。10+1〜10-8Pa(メタル管球タイプ、GI-M2)、10-1〜10-6Pa(ガラス管球タイプ、GI-D7)

特徴
・9.9Paから5×10-8Paの8桁半にわたる幅広い測定が可能(GI-M2)
・用途に応じた測定子の選定が可能(他にヌードタイプも可能)
・測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を防止(GI-M2)
・気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測定が可能
・測定レンジを固定して使用される場合に最適
・セットポイント2点の出力可能
・フィラメント1/2切り替え、感度設定、レンジホールド設定、DEGAS設定など
・RS232C通信が標準装備
・BCD出力が標準装備
・圧力は0〜10V出力(疑似Log出力)

用途
GI-M2
・スパッタリング装置
・蒸着装置(ターボ分子ポンプ)
・その他超高真空・高真空装置など
GI-D7
・真空熱処理炉
・真空ろう付炉
・蒸着装置(拡散ポンプ)
・炉などの一般産業機器

技術情報
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