コンポーネント・真空部品・アクセサリー

ICF フランジ・配管部品


アメリカのバリアン社が開発したConFlat(コンフラット)CFフランジがルーツです。
ICFフランジはバリアン社からライセンス契約でキヤノンアネルバ(当時の日電バリアン社)が自社製品に付けた名称です。
現在日本では日本真空協会がJVIS003として外径34~305まで規格制定しています。国際規格としてはISO3669に規定されていますが、日本のJVIS003とはガスケット挿入部分に若干の寸法差がありますが使用上での問題(リークなど)はありません。ただし大口径の406、456フランジには統一規格がありませんので注意が必要です。
シール用ガスケットは主に無酸素銅、用途によりアルミ、ニッケルなどがあります。⁻10Pa以下の圧力に耐え、⁻196℃から+450℃までの温度範囲でリークフリーです。

NW(ISO-KF) フランジ・配管部品

NW/KF(Klein Flange)規格は真空分野での低真空から高真空領域(10-6 Pa)で使用される 配管継手部品から構成されます。クランプとセンターリング付きOリングで簡単に取り付け、取り外しができます。
SUSのセンターリングにバイトン、ニトリル、カルレッツ等のOリングを付けて使用します。
80℃~150℃加熱対応(最大200℃)で、リークレートは10-9 Pa・㎥/s以下(Oリングのガス透過は除く)です。

ISO-KF NW10~NW50 (ISO2861)
クイックカップリング型のフランジ及びクランプ、センターリングで構成されます。
ISO(K) NW63~630(ISO1609)
クランプはダブルクロークランプとシングル(ウオール)クランプがあり、フランジはクロークランプタイプとボルトタイプがあります。
630までの大口径フランジに対応し、各フランジに回転フランジタイプもあります。
また、ヨーロッパでは呼び径をDN(Diameter Nominal / Durchmesser nach Norm)と記載することも多く、NWと同じくパイプの内径(mm)を表しています。
北アメリカではNPS(Nominal Pipe Size)と呼ばれています。

DN(mm)NW(mm)ICF(mm)
161634
2525
404070
5050
6363114
100100152
160160203
200200253


ファイファーバキューム社配管部品一覧

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