コンポーネント・真空部品・アクセサリー
VISTA製品

真空業界で長年の経験を持つスタッフ達による真空計、リークディテクター、真空ポンプ等の真空機器の開発、製造、販売、技術受託を行う真空技術専門の企業。
アルゴンリークディテクターやガス分析機能付き真空計など他にはない個性的な製品が揃っています。

メガトール製品

1998年、真空製造装置に携わっていた経験者が集い、真空装置の主部品である真空圧力を測定するセンサーと真空槽内の圧力を制御するスロットルバルブ(Throttle Valve)とコントローラの販売、並びにそのメンテナンスや技術サポートを目的として創立。現在では、圧力の制御範囲を広げる広帯域バルブ(特許取得)や 特徴あるスロットルバルブ及びそのコントローラを独自開発しています。

EVAC製品

真空配管部品 EVAC Glass™ 製品一覧

MKS製品

Baratoron600series
バラトロン600シリーズは過酷なプロセス環境においても正確で再現性の高い低圧測定圧力トランスデューサーとして利用されています。設計段階からMTBF(機械システム等の信頼性を表す指標となる数値)分析やSTRIFE(応力寿命)試験で信頼性を徹底的に確認しており、総べての600シリーズキャパシタンスマノメータはCEマーク対応品です。

ライボルト製品

ECODRY plus
サイレンサーを内蔵しているので運転音は52db未満となっており、会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。振動も少ないので作業に集中できる環境づくりに貢献します。

ターボ分子ポンプ(TURBOVACシリーズ)
オイル交換不要の潤滑ボールベアリングが採用されたオイルフリーハイブリッドベアリングシステムによる優れた信頼性を持ち、ベアリングの寿命までメンテナンスは不要。また、異なる電子制御やハウジング形状などアクセサリーも豊富なのが特徴です。

真空計
MEMSピラニの採用によりフィラメントより振動やショックベントに対する耐久性に優れ、タッチパネル式の表示器内蔵のモデルなど目新しさのあるモデルもラインナップしています。

大亜真空製品

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