真空チャンバの残留ガス分析に。
残留ガス分析計 MICROPOLE Systemは、半導体や液晶パネル、太陽電池などの成膜プロセスにおいて、チャンバの全圧及び残留しているガスの分圧を計測できる質量分析計です。質量検出部には9つの四重極部で構成し、「世界最小クラスのサイズ」「軽量化」「高圧化・低真空」を実現しています。
小規模真空チャンバや機能性フィルムの薄膜形成工程でのガス分析、ガスプロセス管理に最適です。