圧力制御機器

排気圧コントローラ EC Series

チャンバーの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラです。フランジはNW40/NW50の2タイプ。高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能な性能を実現しています。

  • 高真空対応
    ステンレスボディを採用
  • 耐腐食性対応
    PTFE（ふっ素樹脂）採用モデルもラインアップ
  • 排気圧制御システムを構築
    微差圧センサ（EMTGC1B-A）
    コントローラ（PCU-3000）をラインアップ
  • RoHS指令対応

仕様

型式 EC-5104 EC-5105 EC-5202
取り合いサイズNW40NW5025mmテフロン®継手
1インチテフロン®継手
接ガス部材質SUS-316L、バイトン®SUS-316L、バイトン®PTFE、PEEK、バイトン®
コンダクタンス(真空領域)0.4 〜 80 L/s0.6 〜 200 L/s0.4 〜 80 L/s
100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)		20 L/min25 L/min3 L/min

外形寸法・他（単位：mm）