潤滑油を使用する回転翼型の真空ポンプです。
・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)。
・低騒音で低振動。
・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。
・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。
・大気圧からの作動が可能。
・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
・高性能、低騒音で信頼性の高い真空ポンプです。

項目	単位	50Hz	60Hz
実行排気速度	L/min	50	60
到達圧力	Pa	0.67
到達圧力 (ガスバラストバルブopen時)	Pa	6.7
モータ出力	W	200
使用油		SMR-100
油量	ｍL	500～800
質量	kg	13.9
吸・排気口	mm	KF-25
使用雰囲気温度範囲	℃	7～40
最大寸法	mm	165.5(W) × 395(L) × 222.5(H)
RoHS対応		●